据 TheLec 报道,三星电子 2020 年开始在韩国平泽市建设的 P3 晶圆厂,将在下月开始设备的安装,计划在今年下半年建成。
从外媒的报道来看,三星电子平泽 P3 晶圆厂,规划的是一座既生产存储芯片,又生产逻辑芯片的工厂,率先投产的是 NAND 闪存,随后是 DRAM,随后是采用 3nm 工艺为其他厂商代工晶圆的生产线。
三星电子平泽 P3 晶圆厂率先开始生产 NAND 闪存,也就意味着工厂设备的安装,将从 NAND 闪存生产设备开始,外媒在报道中是表示在 5 月份的第一个周就将开始安装。
值得注意的是,三星电子的这一座工厂,将大量采用极紫外光刻机。外媒在报道中就提到,这一工厂的 NAND 闪存生产线,将采用极紫外光刻机生产第 7 代 176 层 V-NAND 闪存,为其他厂商代工晶圆的 3nm 工艺,也需要极紫外光刻机。
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